当今的半导体工艺面临着高可靠性和高产量的要求。人们期望半导体器件能以更小的尺寸提供更多的功能,同时芯片的性能越来越强。
即使是极小浓度的金属污染,也会对芯片性能产生巨大影响,因此生产要求变得更加严格。多年前,100 ppb 甚至 1 ppm 的污染都是可以接受的,而如今小于 10 ppb 的超纯材料已成为在竞争中保持领先的 "新常态"。
生产微小而复杂的芯片需要一系列光刻和化学工艺步骤,以在晶片上创建电子电路。要生产出芯片结构更小的微处理器和存储芯片,就必须对材料、界面、工艺和技术进行持续的整体优化。要实现高工艺产量,避免颗粒污染至关重要。
过去,纯度并不像今天这样重要。材料质量和无尘室生产环境等基础设施措施足以生产出可靠的芯片。
如今,芯片结构的线宽分辨率已达到 7 纳米。原子宽度为 2 到 3 纳米,即使是单个原子也可能污染芯片。因此,洁净室的生产更加严格。晶圆上的微小颗粒都可能造成缺陷。在设备和材料方面,从工艺室到光刻工艺,整个行业首先转向高纯度,现在又转向超高纯度,即金属污染物含量从 ppm 到 ppb 再到 ppt 水平。
要获得此类高纯度化学品并有效利用时间和资源,可靠的合作伙伴是不可缺少的。由于生产批量通常不大,许多大型化工企业不太愿意生产这些材料,而部分小型企业则不具备先进的专业知识、基础设施和技术诀窍来开发这些材料。
贺利氏深耕电子化学品领域多年,拥有提供高纯度材料的专业技术,并以此为核心竞争力,能够在原子尺度上去除金属污染。我们拥有必要的化学工艺和生产知识,以及随着行业需求不断增长而积累的多年经验。这使我们能够提供可靠的超纯有机化学品,如 PAG、聚合物和单体,以满足客户的需求。